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铂悦仪器(上海)有限公司 主营产品:高精度的分析仪器,检测仪器设备,以及配套的耗材配件

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价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:MProbe UVVisSR 原产地:欧洲 发布时间:2019/4/30更新时间:2019/4/30

产品摘要:MProbe UVVisSR薄膜测厚仪大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

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手机网站:http://wap.themanhattanroom.com/c143952/

公司网站:http://www.boyuesh.com

详细内容

MProbe UVVisSR薄膜测厚仪大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

该机大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

测量范围: 1 nm -50um    

波长范围: 200 nm -1000 nm

MProbe UVVisSR薄膜测厚仪适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

测量指标:薄膜厚度,光学常数

界面友好强大: 一键式测量和分析。

实用的工具:曲线拟合和灵敏度分析,背景和变形校正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和产线批量处理。

(MProble NIR薄膜测厚仪系统示 )


系统性能参数:

 

案例1,73nm SiN氮化硅薄膜的测量

硅晶圆反射率,测量时间10ms

使用Tauc-Lorentz模型,测量SiN薄膜的n和k值

热门标签:MProbe UVVisSR薄膜测厚仪 

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